等離子凈化器處理VOCs，這種有機廢氣，主要是工業生產、市政污水、污泥處理的主要來源。為了治理惡臭氣體，提出了低溫等離子凈化器這種技術，近年來，隨著科學的發展，發現這種處理方法對處理VOCs也有較好的效果。這種生物過濾法，可以處理較低濃度的VOCs，核心處理設備是等離子電場的作用，VOCs可以在等離子電場得到處理，使VOCs生成CO：和HO，這主要是由于在電場內，高壓產生高能電子、離子與物體的電離作用，這些離子體可以使VOCs在等離子體工作時會產生臭氧，*終排放CO2、H2O等無害物質，將VOCs分解成CO2和H2O，使它們排放到空氣中得到凈化。
等離子凈化器中的等離子體凈化技術是指利用脈沖電暈放電產生的高能電子，電子、離子、自由基和中性粒子以每秒鐘300萬次至3000萬次的速度反復轟擊發生異味的分子，去激活、電離、裂解工業廢氣中的各組分，使之發生氧化等一系列復雜的化學反應,存在于等離子體內的(OH-、、O-2 H+、O3)直接打開有機氣體分子間的分子鍵，使有害氣體分解，*終排放CO2、H2O等無害物質，同時產生的大量負離子可以清新空氣。針對日常生活中物質加熱或燃燒，有機溶劑揮發，肉類加工的廢液、廢渣處理、皮革廠、噴漆廠、化工廠、制漿造紙廠、屠宰廠，垃圾站等惡臭污染源進行有效處理。
